簡(jiǎn)要描述:ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐保護(hù)功能:除了超壓自動(dòng)泄壓、漏硅聲光報(bào)警、更有*的漏硅保護(hù)措施,確保操作安全。
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品牌 | 廈門地坤 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐
實(shí)驗(yàn)用8kg多晶硅鑄錠爐ZT-40-16D
研發(fā)背景:
應(yīng)某大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室要求,本公司新研發(fā)了一臺(tái)小型實(shí)驗(yàn)室專用多晶硅鑄錠爐,此設(shè)備具有如下特點(diǎn):
1.具有當(dāng)今市場(chǎng)主流鑄錠爐的一切功能,包括實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)運(yùn)行。
2.具有生產(chǎn)周期短,能耗低,實(shí)驗(yàn)成本節(jié)約的特點(diǎn)。
3.增加了部分新功能,除鑄錠以外,還實(shí)現(xiàn)部分提純功能。
技術(shù)參數(shù):
1.功率:40KW
2.坩堝容量:標(biāo)準(zhǔn)10英寸
3.高溫度:1550度
4.極限真空度:10-1Pa
5.保溫罩上移距離:200mm
6.爐底大位移:800mm
7.進(jìn)出料方式:爐底進(jìn)出
8.加熱元件:石墨管加熱
9.保護(hù)功能:除了超壓自動(dòng)泄壓、漏硅聲光報(bào)警、更有*的漏硅保護(hù)措施,確保操作安全。
10.常用溫度:1550℃
11.高溫度:1600℃
12.控制方式:可控硅調(diào)功+大電流變壓器
13.控溫精度:±3℃
14.石英坩堝尺寸:198×198×200mm(L×W×H)
15.鑄錠重量:2-8KG
16.保溫桶大位移:200mm
17.空爐冷態(tài)極限真空度:≤6.67×10-1Pa
18.保溫層移動(dòng)速度:0.5-25mm /小時(shí)(可調(diào))
19. 空爐冷態(tài)壓升率:≤2 Pa/h
ZT-40-16D多晶硅鑄錠爐
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